エステル化合物

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327633
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】下記一般式(1)で示されるエステル化合物。(式中、R1はヘテロ原子を含んでもよい飽和脂環構造又は芳香環構造を有する炭素数4〜40のn価の炭化水素基を示す。R2は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基又は炭素数6〜20の置換されていてもよいアリール基を示す。R3〜R12はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい1価の炭化水素基を示し、互いに環を形成していてもよく、その場合には炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい2価の炭化水素基を示す。またR3〜R12は隣接する炭素に結合するもの同士で何も介さずに結合し、二重結合を形成してもよい。nは1〜8の整数である。)【効果】本発明のエステル化合物を配合したレジスト材料は、高エネルギー線に感応し、感度、解像性、エッチング耐性、保存安定性に優れているため、電子線や遠紫外線による微細加工に有用である。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で示されるエステル化合物。【化1】(式中、R1はヘテロ原子を含んでもよい飽和脂環構造又は芳香環構造を有する炭素数4〜40のn価の炭化水素基を示す。R2は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基又は炭素数6〜20の置換されていてもよいアリール基を示す。R3〜R12はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい1価の炭化水素基を示し、互いに環を形成していてもよく、その場合には炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい2価の炭化水素基を示す。またR3〜R12は隣接する炭素に結合するもの同士で何も介さずに結合し、二重結合を形成してもよい。また、本式により、鏡像体も表す。nは1〜8の整数である。)

IPC (6件)：

C07C 69/608 , C07C 69/675 , C07C 69/732 , C07C 69/753 , C07C 69/76 , G03F 7/004 501

FI (7件)：

C07C 69/608 , C07C 69/675 , C07C 69/732 Z , C07C 69/753 C , C07C 69/753 Z , C07C 69/76 A , G03F 7/004 501

Fターム (19件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4H006AA01 , 4H006AB76 , 4H006AB92 , 4H006BJ20 , 4H006BJ30 , 4H006BJ50 , 4H006BN20 , 4H006BN30

引用特許：

審査官引用 (3件)

ハロゲン化銀カラー写真感光材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-303231 出願人：富士写真フイルム株式会社
特許第3680920号
特許第3642228号

引用文献：

審査官引用 (5件)

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