特許

J-GLOBAL ID：200903084287584150

測長装置

発明者： 岡 正彦 ,  大前 貴雄 ,  山下 浩 ,  鈴木 克明
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117808
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307005
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 パターン検査と測長の機能を備えることにより、設置スペースおよび初期投資を小さくでき、検査の手間を簡単化できて検査時間を短縮化できる。【解決手段】 被測定物を載置する測定台と、被測定物を照明する投光部13と、画像取り込み手段7と、画像取り込み手段7を移動させるX軸/Y軸サーボモータ45a,45bと、被処理物の寸法や座標を測定する測長ユニットU1と、被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニットU2と、パターン検査の結果および測長した結果を表示するCRT53とを備え、測長装置だけでパターン検査と測長の両方を行うことができる。

請求項（抜粋）：

被測定物を載置する測定台と、前記測定台に載置された被測定物を照明する照明手段と、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手段と、前記測定台と平行な平面内で前記被測定物と前記画像取り込み手段とを相対移動させる移動手段と、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前記被測定物のパターンを検査するパターン検査ユニットと、前記移動手段により前記被測定物を相対移動させ、前記画像取り込み手段を介して取り込んだ画像に基づいて前記被測定物の寸法や座標を測定する測長ユニットと、前記パターン検査ユニットによって前記被測定物を検査した結果および前記測長ユニットによって前記被測定物を測長した結果を出力する出力手段と、を備えていることを特徴とする測長装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/02

FI (2件)：

G01B 11/00 H ,  G01B 11/02 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学式基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-224325   出願人：ケーエルエー・インストルメンツ・コーポレーション
• 特開昭63-286752
  
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-249917   出願人：株式会社東芝