特許
J-GLOBAL ID：200903084323163477
ラック装置及びこれに用いる基板支持ラック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332561
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156163
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 厚さが薄く変形しやすい基板をラックに収納し、基板の変形を抑えて乾燥処理等の所要の加工処理を的確に行えるようにする。【解決手段】 基板14を所定間隔をあけて並列に収納する基板支持ラック20と、基板支持ラックに基板の長手方向にテンションを加えて基板をセットするためのセット治具50とからなるラック装置であって、前記基板支持ラック20には、前記基板を収納可能な枠体に、基板の両側縁部を基板の厚さ方向にクランプするとともに、付勢機構により基板の長手方向に離反する向きに付勢して一対のクランプ部が設けられ、前記セット治具50には、前記基板14の側縁部をクランプするクランプ機構52と、前記クランプ部を基板14の長手方向で相対的に接近する向きに移動させ、前記付勢機構により基板を長手方向に伸長させる向きに付勢して支持するテンション機構70、76とが設けられている。
請求項（抜粋）：
基板を所定間隔をあけて並列に収納する基板支持ラックと、該基板支持ラックに基板の長手方向にテンションを加えて基板をセットするためのセット治具とからなるラック装置であって、前記基板支持ラックは、前記基板を収納可能な枠体に、基板の両側縁部を基板の厚さ方向にクランプするとともに、付勢機構により基板の長手方向に離反する向きに付勢して一対のクランプ部が設けられるとともに、該クランプ部に、基板を並列して支持する支持位置にしたがって所定間隔をあけて固定された複数の固定部材と、各々の固定部材に対向して配置され、固定部材に対向する向きに移動可能にかつ付勢手段により固定部材に接近する向きに付勢して設けられたクランプ部材とが設けられ、前記セット治具は、前記固定部材とクランプ部材との間に基板を挿入可能に、クランプ部材を前記固定部材から開き位置に移動させるとともに、前記付勢手段により前記固定部材とクランプ部材とにより基板をクランプ可能とするクランプ機構と、前記クランプ部を基板の長手方向で相対的に接近する向きに移動させ、前記付勢機構により基板を長手方向に伸長させる向きに付勢して支持するテンション機構とが設けられたことを特徴とするラック装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 V
, B65D 85/38 R
3E096AA06
, 3E096BA15
, 3E096CA09
, 3E096DA25
, 3E096DA30
, 3E096FA01
, 3E096GA13
, 5F031CA20
, 5F031DA01
