特許
J-GLOBAL ID：200903084042189736
基板の搬送装置及びそれに用いられるカセット並びに基板の搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穴見 健策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090167
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270528
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【目的】 大型のガラス基板等の変形を生じさせず、また搬送において搬送装置全体を大型化、重量化させないようにし省スペースを実現させ、高速搬送を実現させる。【構成】 基板Gを縦に収納し得る複数の収納区画23を備えたカセット14と、前記縦に収納された基板Gを縦状態で出し入れ操作するハンド部32を備えたマニピュレータ機構34と、このマニピュレータ機構34を支持し、上下動かつ旋回自在に設けられた肩部38と、を有し、ハンド部32をカセット14の収納区画23内に進退自在に移動させる進退移動装置70と、前記ハンド部32に設けられ、同ハンド部32をカセット14の収納区画23内に縦状態で進入させて縦収納された基板Gを保持する保持手段35と、を含む基板の搬送装置10から構成される。収納と、取り出し搬送を基板の縦状態で行なうから基板を変形させず、搬送も大幅に迅速化され、かつ装置の小型、軽量化を維持する。
請求項（抜粋）：
基板を縦に収納し得る複数の収納区画を備えたカセットと、前記縦に収納された基板を縦状態で出し入れ操作するハンド部を備えたマニピュレータ機構と、このマニピュレータ機構を支持し、上下動かつ旋回自在に設けられた肩部と、を有し、前記マニピュレータ機構は、前記肩部に支持され、前記ハンド部をカセットの収納区画内に進退自在に移動させる進退移動装置と、前記ハンド部に設けられ、同ハンド部をカセットの収納区画内に縦状態で進入させて縦収納された基板を保持する保持手段と、を含む基板の搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
, B65D 85/38 R
