スパッタリング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-158789
公開番号（公開出願番号）：特開平8-333680
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】カソード電極の内部に配置する磁石総組立体の構成を工夫することにより、矩形ターゲットが不均一に消耗されることによる不経済性を解消するとともに、基板に堆積される膜厚の不均一性の問題を解決する。【構成】磁石総組立体72は、2種類の短冊状組立体104、106を合計で5列並べて構成してある。第1列と第3列と第5列の短冊状組立体104は、両側の2個の第2の磁石ユニット102と、中央の3個の第1の磁石ユニット100からなる。第2列と第4列の短冊状組立体106は、6個の第1の磁石ユニット100からなる。この磁石総組立体72は矢印98の方向に、短冊状組立体104、106の幅に等しい距離だけ往復移動できる。短冊状組立体104における磁石ユニットの境界線110と、隣の短冊状組立体106における磁石ユニットの境界線112とは、その位置がずれている。磁石総組立体72を全体として見ると、磁石ユニットの境界線110、112は千鳥配置となっている。

請求項（抜粋）：

成膜処理される基板を取り付ける基板保持部材と、基板に対向する位置に配置されたマグネトロンカソード電極とを備えるスパッタリング装置において、前記マグネトロンカソード電極は、矩形平面状ターゲットと、このターゲットの背面に配置されてターゲットの表面に平行な断面形状が矩形の磁石総組立体とを備え、前記磁石総組立体は、前記ターゲットの矩形の1辺に平行な方向に往復運動が可能であり、前記磁石総組立体は、前記往復運動に垂直な方向に延びる複数の短冊状組立体から構成され、前記短冊状組立体の長辺の長さは、前記磁石総組立体の矩形の1辺の長さに等しくて、これらの短冊状組立体はその長辺が互いに隣り合うように配置され、前記短冊状組立体のそれぞれは、前記往復運動に垂直な方向に一列に配置された複数の磁石ユニットから構成され、前記磁石ユニットのそれぞれは、ターゲットの表面に平行な断面形状が矩形をしていて、かつ、ターゲットの表面上に環状の電子ドリフト運動軌跡を生じさせるような磁場を形成しており、前記各短冊状組立体における磁石ユニット間の境界線の位置は、前記往復運動に垂直な方向において、隣り合う短冊状組立体同士でずれている、ことを特徴とするスパッタリング装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

スパツタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-270975 出願人：日電アネルバ株式会社
特開平2-243762

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