特許
J-GLOBAL ID：200903084341237976
鏡面光沢度予測方法及び鏡面光沢度予測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-271138
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329586
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 物体性状の不均一性を考慮しつつ、試料の屈折率が未知の場合には、試料表面の屈折率を推定し、試料の表面構造及び推定された屈折率から鏡面光沢度を定量的に推定する。【解決手段】 試料表面の三次元構造を測定して高さ分布データを取得し(ステップS1)、当該高さ分布データを基に表面形状パラメータを抽出し(ステップS2)、一次元変角反射率分布を計測し(ステップS4)、一次元変角反射率実測データを取得し、表面形状パラメータ及び一次元変角反射率分布データを基に、試料表面の実効屈折率を取得し(ステップS5)、表面形状パラメータ及び実効屈折率とに基づいて、鏡面光沢度を算出する(ステップS6)。
請求項（抜粋）：
試料表面の三次元構造を測定して高さ分布データを取得し、当該高さ分布データを基に表面形状パラメータを抽出するステップと、一次元変角反射率分布を計測し、一次元変角反射率実測データを取得するステップと、前記表面形状パラメータ及び前記一次元変角反射率分布データを基に、前記試料表面の実効屈折率を取得するステップと、前記表面形状パラメータ及び前記実効屈折率とに基づいて、鏡面光沢度を算出するステップとを有することを特徴とする鏡面光沢度予測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/57
, G01N 21/41 Z
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059FF02
, 2G059GG10
, 2G059JJ11
, 2G059KK01
, 2G059MM01
, 2G059MM02
, 2G059MM03
, 2G059MM05
