ターボ分子ポンプ駆動電源装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021901
公開番号（公開出願番号）：特開平7-213093
出願日： 1994年01月21日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】ターボ分子ポンプの負荷状態の如何にかかわらず、定格回転状態で一定の回転数を維持しつつ無駄な電力を誘動電動機側に供給しないターボ分子ポンプの駆動電源装置を提供する。【構成】ターボ分子ポンプ1の駆動電源装置において、交流電力を供給するインバータ出力回路3と、サンプリング時間を発生させるタイマ回路22と、ポンプの実回転数を検出する手段20と、サンプリング時間毎に回転数の変化を演算する比較演算回路21と、インバータ出力回路3の出力電圧を制御する電圧制御回路12とを具備し、ポンプ負荷の変動によるポンプ実回転数の変化をタイマ回路22によるサンプリング時間毎に検出した回転数を比較演算回路21で比較し、所定の回転数を維持する最小限の回転トルクだけを供給するように電圧制御回路12を介してインバータ出力回路3の出力電圧を制御する。

請求項（抜粋）：

ターボ分子ポンプの駆動電源装置において、交流電力を供給するインバータ出力回路と、サンプリング時間を発生させるタイマ回路と、ポンプの実回転数を検出する手段と、前記サンプリング時間毎に回転数の変化を演算する比較演算回路と、前記インバータ出力回路の出力電圧を制御する電圧制御回路とを具備し、ポンプ負荷の変動によるポンプ実回転数の変化を前記タイマ回路によるサンプリング時間毎に検出した回転数を比較演算回路で比較し、所定の回転数を維持する最小限の回転トルクだけを供給するように前記電圧制御回路を介して前記インバータ出力回路の出力電圧を制御することを特徴とするターボ分子ポンプ駆動電源装置。

IPC (3件)：

H02P 7/63 302 , F01D 25/36 , H02M 7/48

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-009767
空気調和機の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-036120 出願人：株式会社富士通ゼネラル
特開昭59-175382

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