特許
J-GLOBAL ID：200903084444268934
超伝導磁気シールド体の磁束トラップ除去方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051135
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240539
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 磁気シールドルームを必要とせずにトラップした磁束を除去することができるようにする。【構成】 無底円筒状に構成した超伝導磁気シールド体1を液体窒素10で転移温度以下に冷却して超伝導状態に転移させた状態で、超伝導磁気シールド体1の一部を一端から他端までヒータ8で転移温度以上に加熱して非超伝導状態に転移させた後に再度超伝導状態に転移させる加熱スキャンを、全面に対して所定回数行う。
請求項（抜粋）：
超伝導磁気シールド体を冷却媒体で転移温度以下に冷却して超伝導状態に転移させた状態で、前記超伝導磁気シールド体の一部を一端から他端までヒータで転移温度以上に加熱して非超伝導状態に転移させた後に再度超伝導状態に転移させる加熱スキャンを、全面に対して所定回数行う、ことを特徴とする超伝導磁気シールド体の磁束トラップ除去方法。
IPC (3件)：
H01L 39/04 ZAA
, H01L 39/00 ZAA
, H05K 9/00 ZAA
