特許
J-GLOBAL ID：200903084470615340

ガス分解装置

発明者：
浅野 啓行

浅野 啓行 について

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後藤 豊一

後藤 豊一 について

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鈴木 真彦

鈴木 真彦 について

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樋野 雅司

樋野 雅司 について

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吉田 清彦

吉田 清彦 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-364031
公開番号（公開出願番号）：特開2003-164723
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、プラズマの点火を開始するための特別な装置を必要とせず、自動的に電極間距離を調整し、その電極の長期間の使用を可能としうるガス分解装置を提供することを目的とする。【解決手段】 この発明のガス分解装置は、マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器からのマイクロ波を伝搬する第1の導波管と、この第1の導波管に連結され、マイクロ波によりプラズマを発生させる外導体及び内導体を有する第2の導波管と、この第2の導波管に連通され、プラズマによりガスの分解反応を行う反応器と、前記内導体に接続され、前記外導体に対する間隔を狭くすることによりプラズマを起こさせるように前記内導体を所望量だけ移動させる駆動手段とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器からのマイクロ波を伝搬する第1の導波管と、この第1の導波管に連結され、マイクロ波によりプラズマを発生させる外導体及び内導体を有する第2の導波管と、この第2の導波管に連通され、プラズマによりガスの分解反応を行う反応器と、前記内導体に接続され、前記外導体に対する間隔を狭くすることによりプラズマを起こさせるように前記内導体を所望量だけ移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするガス分解装置。
IPC (3件)：
B01D 53/32 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/30
FI (3件)：
B01D 53/32 ,  B01J 19/08 E ,  H05H 1/30
Fターム (11件)：
4G075AA03 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075BD12 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075EB21 ,  4G075EB31 ,  4G075EB41 ,  4G075EC06 ,  4G075EC21
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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