透光性物質の不均一性検査方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿仁屋節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057743
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258172
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】透光性物質の光学的な不均一性を高感度・高速度に検出できる。【解決手段】レーザー光Lを透明基板1の一辺aから基板1内に導入する。一方、透明基板1の一辺bから周波数が変動した超音波ビームUを基板1内に伝播させる。この超音波ビームUによる屈折率変動領域にレーザー光Lが入射すると、回折を受けずに直進する0次光L0の他に、ブラッグ回折による1次回折光L1、L2、...が生じる。0次光L0、1次回折光L1、L2、...は、透明基板1の主表面H及び端面Tで全反射を繰り返しながら伝播し、基板1内に光がほぼ閉じ込められた状態となり、光が基板1内に隈無く行き渡る。透明基板1に傷などの不均一部分が存在すると、基板1表面で全反射されずに基板1表面から光が漏れ出し、この漏れ出た光を検出することにより、透明基板1の不均一性を検査できる。

請求項（抜粋）：

透光性物質の不均一性を検査する方法において、前記透光性物質の表面から透光性物質内に光を導入し、透光性物質内に導入した光と超音波発生手段により発生させた超音波が前記透光性物質内で伝播する超音波ビームとの音響光学効果を利用して、前記透光性物質の光路が光学的に均一の場合には前記表面で全反射が起こり得る範囲内で前記表面への光の入射角度を変化させ、前記透光性物質内に導入され伝播する光の光路中に不均一部分が存在するときに、前記表面から光が漏出することから透光性物質の不均一性を検出するようにしたことを特徴とする透光性物質の不均一性検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 29/04

FI (2件)：

G01N 21/88 E , G01N 29/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-010481 出願人：株式会社東芝
透明体の欠陥検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-066205 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭61-284648

全件表示

前のページに戻る