エッチングシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-151759
公開番号（公開出願番号）：特開2006-326444
出願日： 2005年05月25日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：

【課題】エッチング反応によって生じた不純物を効果的に処理するリサイクルシステムを有し、信頼性に優れ、エッチング品質が高く、低コストで、資源の有効利用や環境保全にも貢献する湿式エッチングシステムを提供すること。【解決手段】 LCDガラス基板50などの被処理体をエッチングする湿式エッチングシステムにおいて、エッチング反応で生成した不純物を含むエッチング排液21を、沈降分離処理、薬剤処理、濾過処理、及び逆浸透膜処理をこの順で行うリサイクルフローによって処理し、不要物を除去若しくは減量したエッチング液をエッチング工程へリサイクルする。沈降分離処理は沈殿槽2中で、薬剤処理は撹拌反応槽3中で、濾過処理はMF膜(精密濾過膜)またはUF膜(限外濾過膜)10を用いて、逆浸透膜処理は逆浸透膜11を用いて、それぞれ行う。懸濁液4中のエッチャントは、中和槽5で行う薬剤処理で一部回収する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湿式エッチング法によって被処理体をエッチングし、エッチング排液から不要物を除去若しくは減量したエッチング液をエッチング工程へリサイクルするエッチングシステムにおいて、前記エッチング排液に対し、少なくとも薬剤処理又は/及び逆浸透膜処理を施し、得られたエッチング液をリサイクルすることを特徴とする、エッチングシステム。

IPC (8件)：

C02F 9/00 , B01D 61/02 , B01D 61/04 , B01D 61/14 , B01D 61/58 , C02F 1/44 , C02F 1/58 , C03C 15/00

FI (15件)：

C02F9/00 502D , C02F9/00 502E , C02F9/00 502F , C02F9/00 502G , C02F9/00 502P , C02F9/00 502Z , C02F9/00 503G , C02F9/00 504B , B01D61/02 500 , B01D61/04 , B01D61/14 500 , B01D61/58 , C02F1/44 E , C02F1/58 M , C03C15/00 Z

Fターム (31件)：

4D006GA03 , 4D006GA06 , 4D006GA07 , 4D006JA71 , 4D006KA01 , 4D006KA52 , 4D006KA57 , 4D006KB13 , 4D006KB14 , 4D006KB30 , 4D006KD17 , 4D006PA02 , 4D006PB08 , 4D006PB70 , 4D006PC01 , 4D038AA08 , 4D038AB24 , 4D038AB25 , 4D038AB40 , 4D038AB57 , 4D038AB59 , 4D038AB60 , 4D038AB90 , 4D038BA04 , 4D038BB13 , 4D038BB17 , 4D038BB18 , 4D038BB20 , 4G059AA08 , 4G059BB04 , 4G059BB14

引用特許：

出願人引用 (1件)

固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-067861 出願人：ソニー株式会社

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