特許

J-GLOBAL ID：200903084534313858

照明光学系及びそれを用いた露光装置

発明者： 大森 利彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364509
公開番号（公開出願番号）：特開2006-171426
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】 ロッドインテグレータへ入射される照明光の入射位置がずれても、ロッドインテグレータから出射される照明光の均一度の変化を少なくする。【解決手段】 ファイバアレイ光源36とロッドインテグレータ46の間に配置されたレンズアレイ44によって、ファイバアレイ光源36からロッドインテグレータ46へ入射するレーザ光Bを複数の光ビームに分割することができる。これにより、ロッド入射端面でのレーザ光Bのサイズと入射角度とを別々に設定できるため、入射するレーザ光Bのサイズを大きくし、入射角度を大きくできる。入射角度を大きくすることにより、レーザ光Bの強度分布の高い均一度を実現しつつ、入射するレーザ光Bのサイズを大きくすることにより、入射するレーザ光Bの入射位置がずれても、ずれの影響力が少なく、ロッドインテグレータ46から出射される照明光の均一度の変化を少なくできる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

被照明体へ照明光を照射する光源と、 前記光源と前記被照明体との間に配置され、前記照明光を透過させることにより該照明光の強度分布を均一化するロッドインテグレータと、 を備える照明光学系において、 前記光源と前記ロッドインテグレータの間に配置され、前記光源から前記ロッドインテグレータへ入射する照明光を複数の光ビームに分割する光学素子を有することを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G02B 6/42 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/20 501 ,  G02B6/42 ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/30 527 ,  H01L21/30 515D

Fターム (19件)：

2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BB01 ,  2H097CA05 ,  2H097CA17 ,  2H137AA10 ,  2H137AB05 ,  2H137AC01 ,  2H137BA04 ,  2H137BB02 ,  2H137BC02 ,  5F046BA05 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046CB13 ,  5F046CB18 ,  5F046CB23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 照明光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-248634   出願人：富士写真光機株式会社