特許
J-GLOBAL ID:200903084534406805

試料観察用プレート、試料調整方法および試料観察装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 敬之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-242915
公開番号(公開出願番号):特開2001-066239
出願日: 1999年08月30日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 表面が分子レベルで平滑で、安価な試料観察プレートを提供することで、分子レベルの形状観察と光学観察を再現性よく行えるようにする。【解決手段】 分子レベルの形状及び光学情報の観察を行う機器で使用する試料観察用プレートにおいて、試料観察プレートに疎水性膜12をパターニングして被覆し、試料観察用プレートを構成した。さらに、この試料観察用プレートを用いて観察装置を構成した。
請求項(抜粋):
分子レベルの形状及び光学情報の観察を行う機器で使用する試料観察用プレートにおいて、基板上に少なくとも疎水性の試料調整位置決め用パターンが形成されていることを特徴とする試料観察用プレート。
IPC (2件):
G01N 13/10 ,  G01N 1/10
FI (3件):
G01N 13/10 D ,  G01N 1/10 N ,  G01N 1/10 C

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