特許

J-GLOBAL ID：200903084635290174

低温試料ホルダを含む粒子光学装置

発明者： ボルマンス,ベルナルドゥス ヤコブス マリー ,  ドゥ ヨン,アラン フランク ,  ファン デル マスト,カーレル ディーデリック ,  ワグナー,ライモント ,  アセルベルフス,ペーター エミール ステファン ヨセフ
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-528584
公開番号（公開出願番号）：特表2000-505944
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】電子顕微鏡では試料が非常に低い温度(例えば液体ヘリウムの温度)で調査されうることが時には重要である。既知の試料ホルダの場合、試料は試料ホルダの孔を通じて冷却媒体を供給することによって冷却される;これは試料が交換されるたびに取り外された試料ホルダの熱ドリフトを生じさせ、またデュワー瓶との音響結合(即ち振動の伝達)が存在する。本発明によれば、試料は、試料を交換するために試料ホルダ(7)を取り外す必要がないよう別個の運搬ユニット(13,36)によって試料ホルダ(7)の端(20)の上に配置され、結果として試料ホルダは加熱されない。更に、冷源(22,28)への結合は冷却されるべき端(20)へ直接延びこの端に恒久的に接続される柔軟な冷却導管(30)を通じて行われ、従って振動の伝達を防止する。

請求項（抜粋）：

装置の中で調査されるべき試料(34)を支持する操作可能な試料ホルダ(7)と、冷却導管手段を通じて上記試料に接続される冷源を設けられた上記試料を冷却する冷却装置(22,28)とを含む粒子光学装置であって、 上記試料ホルダと別個に取り付けられ、試料ホルダ(7)との間で試料(34)を移す運搬ユニット(13)を設けられることを特徴とする粒子光学装置。

FI (3件)：

H01J 37/20 E ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/20 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-098448
  
• 特開昭50-080074
  
• 電子顕微鏡試料加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-233324   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ