磁気記録媒体及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-324316
公開番号（公開出願番号）：特開平8-180383
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】成膜雰囲気中の水素量や炭化水素量を従前通りの値に保ちながらも、ダングリングボンド密度が低減したカーボン保護層を実現し、良好なCSS耐久性や表面品質の安定した磁気記録媒体を提供する【構成】カーボン保護層4の上に塗布された液体潤滑層5とを備えた磁気記録媒体において、カーボン保護層4の少なくとも表層が3at%〜15at%の酸素を含有している。このカーボン保護層4の成膜法は、成膜ガスとして(Ar+30mol %のCH4 +30mol %のCO2 )混合ガスを用いてスパッタリングするものである。水素や炭化水素の含有量を変えずに、酸素がダングリングボンドと結合しているのでカーボン保護層4の表層のダングリングボンド密度が低減している。従って、耐CSS特性を劣化させずに、ガス吸着性を無くすことができ、耐環境性に優れている。

請求項（抜粋）：

非磁性基体の上に積層された磁性層を保護するカーボン保護層と、このカーボン保護層の上に塗布された液体潤滑層とを備えた磁気記録媒体において、前記カーボン保護層の少なくとも表層が3at%〜15at%の酸素を含有することを特徴とする磁気記録媒体。

引用特許：

審査官引用 (5件)

磁気記録媒体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-018324 出願人：日本電気株式会社
特開昭64-037711
特開平3-238620

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