特許

J-GLOBAL ID：200903084729847407

露光装置

発明者： 平柳 徳行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-051780
公開番号（公開出願番号）：特開2007-234717
出願日： 2006年02月28日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】 照明領域内の照度均一性を向上させることができる露光装置を提供する。【解決手段】 光源から射出した光束を波面分割する複数の反射光学要素からなる波面分割素子35を用いて照明領域M上で波面分割された前記光束32を重ね合わせて照明する照明光学系33を備えた露光装置において、前記波面分割素子35は、複数の入射側要素ミラー35aaを含む入射側光学系と、複数の射出側要素ミラー35bbを含む射出側光学系とを備え、前記複数の射出側要素ミラー35bbの少なくとも1つにより反射される前記光束32の進行方向を変更する変更手段25を備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源から射出した光束を波面分割する複数の反射光学要素からなる波面分割素子を用いて照明領域上で波面分割された前記光束を重ね合わせて照明する照明光学系を備えた露光装置において、 前記波面分割素子は、複数の入射側要素ミラーを含む入射側光学系と、複数の射出側要素ミラーを含む射出側光学系とを備え、 前記複数の射出側要素ミラーの少なくとも1つにより反射される前記光束の進行方向を変更する変更手段を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 517

Fターム (11件)：

5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC10 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光装置及びその制御方法、これを用いたデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-020213   出願人：キヤノン株式会社