強誘電体装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-167860
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013542
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】強誘電体特性の劣化の無い、且つリーク電流の小さい新しい強誘電体装置構造を提供する。【構成】強誘電体装置に関し、(1)基体101表面に形成した電極103上に、緩衝層104を介して強誘電体膜105と電極106とを形成する事、(2)基体表面に形成した電極表面に形成した強誘電体膜上に、緩衝層を介して電極を形成する事、および(3)基体表面に形成した電極表面に形成した強誘電体膜に、中間層として緩衝層を形成する事である。等の構造とする。

請求項（抜粋）：