特許

J-GLOBAL ID：200903084804740265

誘電体バリア放電ランプによる処理装置、および処理方法

発明者： 菱沼 宣是
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-347699
公開番号（公開出願番号）：特開2003-144913
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
要約：

【要約】【課題】誘電体バリア放電ランプからの放射光が紫外線透過部材で減衰するという問題を良好に解決することである。【解決手段】内部に誘電体バリア放電ランプ(20)が配置され不活性ガス雰囲気が形成されるランプ室(R)と、内部に被処理物(1)が配置され処理用ガス雰囲気が形成される処理室(T)と、ランプ室(R)と処理室(T)を区画する紫外線透過部材(11)とよりなり、前記ランプ室(R)と前記処理室(T)には、それぞれ、内部のガス圧力を検知する手段(40,41)と、内部にガスを導入(25a、33a)、排出する手段(25b、33b)を有し、前記ランプ室(R)と前記処理室(T)のガス圧力を検知することで、前記ランプ室(R)内のガス雰囲気圧力と前記処理室(T)のガス雰囲気圧力を相対的に調整する手段を有することを特徴とする誘電体バリア放電ランプを使った処理装置(10)。

請求項（抜粋）：

内部に誘電体バリア放電ランプが配置され不活性ガス雰囲気が形成されるランプ室と、内部に被処理物が配置され処理用ガス雰囲気が形成される処理室と、ランプ室と処理室を区画する紫外線透過部材とよりなる誘電体バリア放電ランプによる処理装置において、前記ランプ室と前記処理室には、それぞれ、内部のガス圧力を検知する手段と、内部にガスを導入、排出する手段を有し、前記ランプ室と前記処理室のガス圧力を検知することで、前記ランプ室内のガス雰囲気圧力と前記処理室のガス雰囲気圧力を相対的に調整する手段を有することを特徴とする誘電体バリア放電ランプによる処理装置。

IPC (4件)：

B01J 19/12 ,  B08B 7/00 ,  G21K 5/00 ,  H01J 65/00

FI (5件)：

B01J 19/12 C ,  B08B 7/00 ,  G21K 5/00 B ,  G21K 5/00 Z ,  H01J 65/00 B

Fターム (15件)：

3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116BC01 ,  4G075AA30 ,  4G075BA06 ,  4G075BB10 ,  4G075BC04 ,  4G075CA33 ,  4G075CA63 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075FC04 ,  4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光励起反応装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-121658   出願人：株式会社日立製作所
• 誘電体バリア放電ランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-342975   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特開昭60-009875
  
• 特開昭60-007936