特許
J-GLOBAL ID：200903084838042877
金属微粒子堆積装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-071303
公開番号（公開出願番号）：特開平6-280002
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】この発明は、半導体素子のパッド電極上に裾拡がりの生じない金属電極を形成する。【構成】先端近傍の側部に第1、第2の横穴12a,12b が設けられたノズル12をAlパッド電極14の上方に移動する。次に、Heガス17の雰囲気において、蒸発源を蒸発させることによりAu蒸気とし、このAu蒸気を一次凝集することにより、Au蒸気をAu微粒子16とする。次に、Au微粒子16をHeガス17と共にノズル12の先端から前記Alパッド電極14に吹き付ける。この際、Au微粒子16より軽いHeガス17の一部を第1、第2の横穴12a,12b から逃がし、Au微粒子16を慣性力により直進させる。これにより、前記Au微粒子16をAlパッド電極14上に堆積させる。この結果、前記Alパッド電極14の上にバンプ電極19を形成している。従って、半導体素子のパッド電極上に裾拡がりの生じない金属電極を形成できる。
請求項（抜粋）：
金属微粒子を発生させる蒸発源と、前記金属微粒子を搬送する不活性ガスを先端近傍で排出する排出手段を有するノズルと、を具備することを特徴とする金属微粒子堆積装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H01L 21/285
, H01L 21/321
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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