特許
J-GLOBAL ID：200903084842705260
欠点検査装置に用いる暗視野照明装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-002016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189665
出願日： 1996年01月10日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 欠点の輝度レベルを高めることができ、画像信号にガラスの型成分が含まれないようにすることのできる暗視野照明装置を提供する。【解決手段】 2個の細長光源25a,25bと、各細長光源からの照明光が1次元ラインセンサカメラ21に直接入らないように各細長光源の1次元ラインセンサカメラ側にそれぞれ設けられ、1次元ラインセンサカメラに対してなす角度が所定の角度範囲の照明光を照射する2個のマスク24a,24bとを備え、マスク24aは、第1の方向に照明光を照射するように傾斜して配列された複数の遮光板15により、マスク24bは、第1の方向とは反対の第2の方向に照明光を照射するように傾斜して配列された複数の遮光板15により構成される。
請求項（抜粋）：
1次元ラインセンサカメラから得られる1次元画像信号を用いて板ガラスの検査を行う欠点検査装置に用いる暗視野照明装置において、1次元ラインセンサカメラに対してなす角度が所定の角度範囲の照明光を、2方向から板ガラスに照射することを特徴とする暗視野照明装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/84 E
