狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160187
出願日： 1992年11月17日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】この発明は、スペクトル異常を高精度かつ確実に検出する狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置を提供することを目的とする。【構成】この発明では、出力レーザ光のスペクトル波形を計測するスペクトル波形計測手段と、このスペクトル波形計測手段の計測出力に基づき出力レーザ光のスペクトル純度を演算するスペクトル純度演算手段と、該演算したスペクトル純度を所定の設定値と比較することによりスペクトル異常を検出するスペクトル異常検出手段とを具えるようにしている。

請求項（抜粋）：

出力レーザ光のスペクトル波形を計測するスペクトル波形計測手段と、このスペクトル波形計測手段の計測出力に基づき出力レーザ光のスペクトル純度を演算するスペクトル純度演算手段と、該演算したスペクトル純度を所定の設定値と比較することによりスペクトル異常を検出するスペクトル異常検出手段と、を具えることを特徴とする狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置。

IPC (2件)：

G01J 3/28 , H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-054786
特開昭63-029758
特開平1-173677

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