特許
J-GLOBAL ID:200903084892695029
光検出素子および光検出素子の制御方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-062896
公開番号(公開出願番号):特開2005-303268
出願日: 2005年03月07日
公開日(公表日): 2005年10月27日
要約:
【課題】外光による飽和を防止して信号光に対応する成分を抽出することができるようにし、信号光に対するダイナミックレンジを向上させた光検出素子を提供する。【解決手段】素子形成層22は、主表面側にウェル領域31を有し、主表面に絶縁層24を介して表面電極25が設けられる。ウェル領域31内には電子保持領域32が設けられ、電子保持領域32内には正孔保持領域33が設けられる。さらに、素子形成層22の主表面のうち正孔保持領域33に対応する部位に絶縁層24を介して制御電極26が設けられる。素子形成層22は光の照射により電子および正孔を生成し、表面電極25および制御電極26に印加する電圧の制御により、電子保持領域32に電子を集積し正孔保持領域33に正孔を保持する状態と、電子と正孔とを再結合させる状態とが選択される。再結合後に残留する電子を受光出力として取り出す。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源から放射された光を受光可能であって受光量に応じた個数の正孔および電子を生成する半導体からなる感光部と、弁別用制御電極を有し弁別用制御電極に印加する電圧の制御により感光部で生成された正孔と電子とのうちの一方である目的キャリアと他方である非目的キャリアとを分離するキャリア弁別部と、結合用制御電極を有し結合用制御電極に印加する電圧の制御により光源の点灯期間に感光部で生成された目的キャリアと光源の消灯期間に感光部で生成された非目的キャリアとを所定タイミングで再結合させる再結合部と、再結合部において再結合させた後に残留している目的キャリアを外部に取り出す出力部とを1つの半導体装置として構成して成ることを特徴とする光検出素子。
IPC (3件):
H01L31/10
, G01J1/02
, H01L27/146
FI (5件):
H01L31/10 A
, G01J1/02 B
, G01J1/02 W
, H01L27/14 A
, H01L31/10 G
Fターム (50件):
2F065AA06
, 2F065DD00
, 2F065DD11
, 2F065FF13
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065JJ01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ15
, 2F065JJ26
, 2F065NN02
, 2F112AD01
, 2F112BA07
, 2F112CA12
, 2F112EA07
, 2G065AA04
, 2G065BA04
, 2G065BA07
, 2G065BA09
, 2G065BC10
, 2G065BC22
, 2G065CA01
, 2G065CA12
, 2G065DA13
, 2G065DA18
, 2G065DA20
, 4M118AA02
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118AB03
, 4M118BA06
, 4M118BA10
, 4M118CA03
, 4M118CA22
, 4M118DA03
, 4M118DB09
, 4M118DD12
, 4M118FA16
, 4M118FA33
, 4M118GB02
, 5F049MA14
, 5F049MB03
, 5F049NA04
, 5F049NB03
, 5F049NB05
, 5F049QA09
, 5F049QA15
, 5F049QA20
, 5F049RA08
, 5F049UA05
引用特許:
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