特許
J-GLOBAL ID:200903084911703836
透明材料内部の処理方法およびその装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-043532
公開番号(公開出願番号):特開2005-230863
出願日: 2004年02月19日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】透明材料内部に集光するフェムト秒レーザー光の集光位置における改質や加工などの処理が高品質にできるようにする。【解決手段】透明材料の屈折率とほぼ一致する屈折率を有する溶液中において移動自在に支持された上記透明材料の内部にフェムト秒レーザー光を集光し、上記透明材料を上記溶液中において移動することにより、上記フェムト秒レーザー光の集光位置を上記透明材料に対して相対的に移動し、上記透明材料の内部に集光した上記フェムト秒レーザー光の作用により上記透明材料の内部を処理する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
透明材料の屈折率とほぼ一致する屈折率を有する溶液中において移動自在に支持された前記透明材料の内部にフェムト秒レーザー光を集光し、
前記透明材料を前記溶液中において移動することにより、前記フェムト秒レーザー光の集光位置を前記透明材料に対して相対的に移動し、
前記透明材料の内部に集光した前記フェムト秒レーザー光の作用により前記透明材料の内部を処理する
透明材料内部の処理方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
4E068CA03
, 4E068CA11
, 4E068CA14
, 4E068CD02
, 4E068CE05
, 4E068CJ07
, 4E068DB11
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (3件)
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特開平4-349132
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液中レーザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-160829
出願人:株式会社小松製作所
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透明材料内部の処理方法およびその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-150541
出願人:理化学研究所, HOYAフォトニクス株式会社
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