固体撮像装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087385
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284168
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】フォトダイオードの暗時のリーク電流が小さく、ダイナミックレンジの大きく、ブルーミング、混色を抑制した固体撮像装置を提供する。【解決手段】半導体基板上に形成されたp型半導体層51と、このp型半導体層の表面に形成されたn型半導体層52、n型半導体層53と、p型半導体層51の表面に酸化膜54を挟んで堆積されたゲート電極55とを有し、p型半導体層51とn型半導体層52によりダイオードを生成し、半導体層51〜53によりトランジスタを形成し、当該トランジスタのドレインに相当するn型半導体層53を深く形成し、かつ、当該n型半導体層53が隣接トランジスタのドレインに相当するn型半導体層と基板中で電気的に接続され、当該ドレインに拡散電流を集める構成とする。

請求項（抜粋）：

光電変換部と信号走査回路を含む単位セル複数を行列二次元状に配置してなる撮像領域と、この撮像領域の各セルからの信号を読み出す信号線とを半導体基板上に形成した固体撮像装置において、前記光電変換部を分離する素子分離領域に、基板あるいはウェルと同一導電型の不純物層を基板表面の浅い領域に形成すると共に、前記基板表面の浅い領域に形成された不純物層の下の深い領域に第2の不純物分離層を形成したことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/146 , H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 A , H04N 5/335 E , H04N 5/335 U

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭60-251660
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-213551 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (3件)

特開昭60-251660
特開昭60-251660
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-213551 出願人：キヤノン株式会社

前のページに戻る