特許
J-GLOBAL ID：200903084956756043
半導体ウエハー搬送装置およびその製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045725
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254636
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】 不純物ガスや不純物微塵の放出を低減した半導体ウエハー搬送装置およびその製造法を提供することを目的としている。【構成】 アルミニウム合金製の本体2と開閉蓋3で半導体ウエハー搬送装置1が構成されている。本体2は底板4と、胴部5と、フランジ6で構成され、夫々の内面4a、5a、6a並びに開閉蓋3の内面3aを、不動態皮膜(Al2 O3)形成雰囲気で、ダイヤモンド刃物を用いて鏡面加工し、夫々の内面に不動態皮膜が形成されている。
請求項（抜粋）：
密閉可能な開閉蓋を備えた容器でなる半導体ウエハー搬送装置において、前記容器の内面に不動態皮膜が形成してあることを特徴とする半導体ウエハー搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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