特許

J-GLOBAL ID：200903084962897562

磁気ヘッド

発明者： 志村 健一 ,  馬場 和宏
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245332
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 高密度磁気記憶装置において、磁気記録媒体の記録再生に用い、耐磨耗性および耐摺動性に優れた磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 磁気ヘッドスライダ1上に、珪素を主成分とし炭素、窒素等を含有する中間層2と硬質非晶質炭素膜3からなる保護膜を設ける。珪素を主成分とする中間層2の炭素、窒素等の含有量は中間層2を構成する全元素に対して5原子%以上30原子%以下とする。磁気ヘッドと磁気記録媒体が狭ギャップ化され、かつ耐摺動性が得られるよう、中間層と硬質非晶質炭素膜からなる保護膜の厚さは2nm以上6nm以下とする。

請求項（抜粋）：

磁気ヘッドスライダの少なくとも空気浮上面上に保護膜を有する磁気ヘッドにおいて、該保護膜は珪素を主成分とする中間層と該中間層上に形成した硬質非晶質炭素膜とからなり、珪素を主成分とする中間層は炭素もしくは炭素および珪素と化学結合する元素のうち少なくとも1種以上を含有することを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (3件)：

G11B 5/60 ,  G11B 5/187 ,  G11B 21/21 101

FI (3件)：

G11B 5/60 B ,  G11B 5/187 K ,  G11B 21/21 101 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 磁気ヘッドおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-145301   出願人：日本電気株式会社