光学装置及び当該光学装置を用いた機器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280093
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124196
出願日： 1994年10月18日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】発光素子又は受光素子を備えた集光位置の調整可能な小型の光学装置を提供する。【構成】ガラス基板1の一方の面にフレネルレンズのような結像素子3を設け、他方の面には発光素子9を備える。ガラス基板1の発光素子9側には角錐台状若しくは円錐台状の凹部4が形成されたシリコン基板2を貼り合わせ、凹部4の底面にはシリコン基板1と一体となった薄膜部6と駆動部7とにより可動ミラー部5を形成し、薄膜部6の内面に鏡面加工を施してミラー面8とし、光学装置Aを作製する。駆動部7を変形させてミラー面8を変位させることにより、集光点を調整する。

請求項（抜粋）：