特許
J-GLOBAL ID：200903084994208025
ハロゲン化化合物の質量分析方法および質量分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356725
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174437
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】藤井式の正イオン付着法をハロゲン化化合物の質量分析に応用し、地球温暖化に大きな影響を及ぼすフッ化化合物等を正確に測定できるハロゲン化化合物の質量分析方法および質量分析装置を提供する。【解決手段】金属イオンを放出するエミッタ12と、被検出ガスが導入されかつ金属イオンによって被検出ガスがイオン化される反応室20と、イオン化された被検出ガスの分子を誘導するアパーチャ26,27等と、誘導された分子を測定する質量分析計34を備える。エミッタから放出された金属イオンを反応室に飛行させてここでイオン化が行われる。被検出ガスはハロゲン化化合物である。このハロゲン化化合物を反応室に供給する試料ガス供給源21と、反応室へハロゲン化化合物に比べて金属イオンが付着しにくいガス(N2 等)を供給するN2 ガス供給源22が備えられる。
請求項（抜粋）：
被検出ガスをイオン化し、その後に電磁気的な力を利用して前記被検出ガスの分子の質量を計測する質量分析方法において、前記被検出ガスはハロゲン化化合物であり、このハロゲン化化合物に直接に正電荷の金属イオンを付着させてイオン化することを特徴とするハロゲン化化合物の質量分析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 27/62 V
, H01J 49/10
5C038GG05
, 5C038GG13
, 5C038GH02
, 5C038GH04
, 5C038GH08
, 5C038HH02
, 5C038HH16
, 5C038HH28
