回折格子、回折格子の加工方法及び光学要素

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-268577
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075622
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】精度のよい機械加工で製作された回折格子とその加工方法、及び回折格子を用いた光学要素を提供すること。【解決手段】単結晶Geまたは単結晶Siの材料を用い、結晶方位の(111)面にダイヤモンドバイトによるフライカット方式により格子溝2a、2b〜2nを形成する。

請求項（抜粋）：

単結晶Geまたは単結晶Siの材料を用い、結晶方位の(111)面に格子溝が形成されていることを特徴とする回折格子。

IPC (2件)：

G02B 5/18 , G02B 5/04

FI (2件)：

G02B 5/18 , G02B 5/04 C

Fターム (4件)：

2H042CA07 , 2H049AA32 , 2H049AA44 , 2H049AA63

引用特許：

審査官引用 (14件)

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