特許

J-GLOBAL ID：200903085062939622

冷凍チャックテーブル

発明者： 森 俊
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-044847
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222530
出願日： 1995年02月09日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 水を供給して凍らせる必要がなく、ウェーハを吸引した状態で凍結し固定出来るようにした、ダイシング装置の冷凍チャックテーブルを提供する。【構成】 半導体ウェーハを保持しダイシングを遂行するダイシング装置のチャックテーブルにおいて、このチャックテーブルはウェーハを吸引保持する吸引部と、この吸引部に保持されたウェーハを冷凍し固定する冷凍部と、を少なくとも含む。吸引部はポーラス部材で構成され、冷凍部は熱電素子で構成される。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハを保持しダイシングを遂行するダイシング装置のチャックテーブルにおいて、このチャックテーブルはウェーハを吸引保持する吸引部と、この吸引部に保持されたウェーハを冷凍し固定する冷凍部と、を少なくとも含む冷凍チャックテーブル。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  B23Q 3/08 ,  H01L 21/304 311 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/78 M ,  B23Q 3/08 Z ,  H01L 21/304 311 B ,  H01L 21/68 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体ウエハ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-055135   出願人：セイコー精機株式会社