特許

J-GLOBAL ID：200903085063960404

カンチレバー

発明者： スーザン フィリッパ ジャービス ,  山田 啓文
出願人/特許権者： 技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構
代理人 (1件)： 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350399
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171381
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 試料表面に対する水平力を、高精度で安定して測定できるようにする。【解決手段】 本発明のカンチレバー1は、カンチレバー基部2と、カンチレバー基部2の先端側に形成した、回転中心軸50を有するヒンジ部5と、ヒンジ部5先端側に連結し、回転中心軸50を中心にヒンジ部5の弾性変形に応じて揺動するビーム部6と、ビーム部6に突状に形成した試料表面プローブ用の探針7と、を備えていることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

カンチレバー基部と、上記カンチレバー基部の先端側に形成した、回転中心軸を有するヒンジ部と、上記ヒンジ部先端側に連結し、上記回転中心軸を中心にヒンジ部の弾性変形に応じて揺動するビーム部と、上記ビーム部に突状に形成した試料表面プローブ用の探針と、を備えていることを特徴とするカンチレバー。

IPC (3件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/20 ,  G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 L ,  G01B 21/20 P ,  G01B 21/30 Z

Fターム (9件)：

2F069AA60 ,  2F069AA99 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブとそれを用いた走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-099665   出願人：キヤノン株式会社
• 力変位センサ付カンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-119302   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社