力変位センサ付カンチレバー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119302
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304409
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】レバーのたわみを良好にし、計測感度を改善した力変位センサ付カンチレバーを提供することにある。【解決手段】支持部1からレバー部2が片持ち梁式に延びており、該レバー部2の基部にくびれ部4a、4bが形成されている。また、該くびれ部4a、4bに対応するレバー部2上に、例えばU字状の抵抗層5からなる変位検出器が構成されている。前記くびれ部4a、4bは、レバー部2の幅方向を切り欠いて形成してもよいし、その厚さを薄くして形成してもよい。この発明によれば、前記レバー部の先端に設けられたチップ(探針)に小さな力が働いても前記レバー部はたわみを生ずるので、高感度の力変位センサ付カンチレバーを提供することができるようになる。

請求項（抜粋）：

支持部に片持ち梁式に支持されたレバー部を有する力変位センサ付カンチレバーにおいて、前記レバー部の前記支持部付近に、くびれ部を設けたことを特徴とする力変位センサ付カンチレバー。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01L 1/22

FI (2件)：

G01N 37/00 G , G01L 1/22 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体加速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-246052 出願人：三菱電機株式会社
特公平4-071343
特許第2940643号

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