特許
J-GLOBAL ID：200903085083584166
短波長紫外線ランプ用高純度シリカガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083580
公開番号（公開出願番号）：特開平7-267674
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 150〜220nmの紫外線の発光でも初期の透過率が高い高純度シリカガラスを提供すること。【構成】 遷移金属元素各々の含有量が10wtppb以下、アルカリ金属元素およびアルカリ土類金属元素各々の含有量が50wtppb以下、OH基濃度が100wtppm〜2,000wtppmで、かつ初期透過率が30%以上であることを特徴とする短波長紫外線ランプ用高純度シリカガラス。
請求項（抜粋）：
遷移金属元素各々の含有量が10wtppb以下、アルカリ金属元素およびアルカリ土類金属元素各々の含有量が50wtppb以下、OH基濃度が100wtppm〜2,000wtppmで、かつ163nm光の透過率が30%以上であることを特徴とする短波長紫外線ランプ用高純度シリカガラス。
IPC (2件)：
引用特許：
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