特許
J-GLOBAL ID：200903085095172700

送り装置

発明者：
吉田 英博

吉田 英博 について

, 
佐野 一彦

佐野 一彦 について

, 
井上 英明

井上 英明 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323095
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134390
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：
【要約】【課題】 送りむらが極めて小さな移動ステージの送り装置を提供する。【解決手段】 本発明の送り装置は、移動ステージと、前記移動ステージを含む可動部と固定部との間の荷重を支持する軸受と、前記可動部を移動させる駆動部と、前記移動ステージ及び軸受を含む部分と前記駆動部とを連結する連結部と、前記連結部及び前記駆動部の中の少なくともいずれか一方と接し又は少なくともいずれか一方に含まれる流体を供給する配管と、を有する。
請求項（抜粋）：
移動ステージと、前記移動ステージを含む可動部と固定部との間の荷重を支持する軸受と、前記可動部を移動させる駆動部と、前記移動ステージ及び軸受を含む部分と、前記駆動部とを連結する連結部と、前記連結部及び前記駆動部の少なくともいずれか一方と接し又は少なくともいずれか一方に含まれる、流体を供給する配管と、を有することを特徴とする送り装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  F16C 32/06 ,  H02K 41/02 ,  H02N 2/00
FI (5件)：
F16C 32/06 A ,  H02K 41/02 C ,  H02K 41/02 B ,  H02N 2/00 B ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (25件)：
3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102BA11 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA08 ,  3J102EB03 ,  3J102GA01 ,  3J102GA20 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F046CC19 ,  5H641BB06 ,  5H641BB16 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG15 ,  5H641GG20 ,  5H641GG26 ,  5H641HH02 ,  5H641HH06 ,  5H641JA06 ,  5H641JA09 ,  5H641JA19 ,  5H641JB04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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