特許

J-GLOBAL ID：200903085103363919

真空排気装置及び方法

発明者： 松森 正史 ,  前川 幸弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-023658
公開番号（公開出願番号）：特開2001-214888
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 真空排気装置において、ターボポンプの保護機能を有したまま、反応室の腐食性ガスによるピラニゲージの破損を防止する。【解決手段】 反応室1に導入ガスを導入するガスストップバルブ2と、反応室1との間にピラニアイソレーションバルブ19を設けたピラニゲージ6と、マノメータアイソレーションバルブ9を設けたマノメータゲージ10と、メインバルブ7を設けたターボポンプ4を有した構成で、反応室1に導入ガスを導入する際には、ピラニアイソレーションバルブ19を閉にして、ピラニゲージ6を導入ガスにさらされないようにして、圧力をマノメータゲージ10により検出し、さらにピラニゲージ6で検出する必要があると判断した場合には、ピラニアイソレーションバルブ19を開にして、ピラニゲージ6で圧力を測定し、ターボポンプ4の保護の必要性の判断をする。

請求項（抜粋）：

反応室に導入ガスを導入するガスストップバルブと、前記反応室との間にピラニアイソレーションバルブを設けたピラニゲージと、前記反応室との間にマノメータアイソレーションバルブを設けたマノメータゲージと、前記反応室との間にメインバルブを設けたターボポンプを有することを特徴とする真空排気装置。

IPC (2件)：

F04D 19/04 ,  F04B 37/16

FI (4件)：

F04D 19/04 G ,  F04D 19/04 H ,  F04B 37/16 A ,  F04B 37/16 B

Fターム (17件)：

3H031DA00 ,  3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031EA09 ,  3H031EA15 ,  3H031FA00 ,  3H031FA37 ,  3H031FA38 ,  3H076AA21 ,  3H076BB28 ,  3H076BB43 ,  3H076BB45 ,  3H076CC41 ,  3H076CC51 ,  3H076CC91 ,  3H076CC94 ,  3H076CC98

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 真空処理装置及び真空処理装置の駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115420   出願人：ソニー株式会社
• ガスセンサの取付け構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-227677   出願人：国際電気株式会社
• 特開昭63-252296
  
• 特開昭62-229931