オゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295272
公開番号（公開出願番号）：特開平9-142807
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】オゾンガスの濃度と流量の両方を制御できるオゾン濃縮貯蔵装置とその制御方法を提供する。【解決手段】酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器10と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器12と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出装置14と、を備え、脱着量制御装置19により反応器で必要なオゾン量をオゾン吸着器の温度と圧力を制御して脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンク20に貯蔵し、希釈制御装置24によりオゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御する。

請求項（抜粋）：

酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンを排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置において、反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させる脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈ガスを供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置。

IPC (3件)：

C01B 13/10 , G05D 7/00 , G05D 21/00

FI (3件)：

C01B 13/10 A , G05D 7/00 , G05D 21/00 A

引用特許：

出願人引用 (11件)

高濃度オゾンの供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-015649 出願人：日本酸素株式会社
オゾン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-025607 出願人：株式会社明電舎
特開平3-290305

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