蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-323868
公開番号（公開出願番号）：特開2004-158337
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】蒸発源の坩堝から蒸着マスクへの輻射熱の影響を軽減し、蒸着マスクの膨張を抑制することで精度の高い蒸着を行うことのできる蒸着装置を提供すること。【解決手段】本発明は、蒸着対象となるガラス基板に蒸着マスク3を介して蒸発材料Mを被着する蒸着装置であり、蒸発材料Mを収納する坩堝21と、この坩堝21の少なくともガラス基板1と対向する面に密着した状態で設けられ、坩堝21の材料より熱輻射効率の低い材料で構成される金属めっき23から成る輻射防止手段とを備えている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

蒸着対象となる基板にマスクを介して蒸発材料を被着する蒸着装置において、前記蒸発材料を収納する坩堝と、前記坩堝の表面のうち少なくとも前記基板と対向する面に密着した状態で設けられ、前記坩堝の材料より熱輻射効率の低い材料で構成される輻射防止手段とを備えることを特徴とする蒸着装置。

IPC (3件)：

H05B33/10 , C23C14/24 , H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 , C23C14/24 A , H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB23 , 4K029HA01

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平2-104659
特開昭59-043871
特開昭62-118517

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