インクジェット用ノズルプレートの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-290774
公開番号（公開出願番号）：特開平8-142334
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【目的】基板の表面を、スパッタリングなどの手段で導体化し、その表面に薄膜絶縁被膜を形成し、めっき、電鋳などの金属成膜手段により前記絶縁被膜を覆うようにしてめっき金属を析出せしめて中空ノズルを形成する。【構成】導体基板1の表面層の一部に絶縁性薄膜からなる第一パターン3を形成し(図1(d))、さらに、前記絶縁性第一パターン3上の中心位置に絶縁性第二パターン4を配し(図1(e))、前記導体表面層に電気めっき6を成長させ(図1(g))、このめっき金属6で前記第一パターン3と第二パターン4を覆うようにして中空ノズルを形成する。最後に、基板1、第一パターン3、第二パターン4を分離し、ノズルプレート6を得る。

請求項（抜粋）：

基板の導体表面層の一部に絶縁性薄膜からなる第一パターンを形成する工程と、前記第一パターン上の中心位置に絶縁性の第二パターンを形成する工程と、前記導体表面層に電気めっきを成長させてめっき金属で前記第一パターンと第二パターンを覆うようにして中空ノズルを形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット用ノズルプレートの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-234941
オリフィスプレートの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-096764 出願人：ブラザー工業株式会社
特開平3-274163

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