特許

J-GLOBAL ID：200903085232063476

半導体圧力センサ

発明者： 嶋田 智 ,  斉藤 明彦 ,  松本 昌大 ,  鈴木 清光 ,  仲沢 照美 ,  宮▲崎▼ 敦史 ,  市川 範男 ,  半沢 恵二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283670
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132684
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、小形で低コストの複合センサを提供するものである。また、構造と製造方法が簡単で量産的かつ経済的な複合センサを提供することにある。【解決手段】1チップ上に複数の圧力検知用容量と参照静電容量を複合形成し、1つの圧力検知と参照静電容量との差から絶対圧を、他の圧力検知用容量と参照静電容量との差から大気圧を演算出力する、さらに絶対圧基準のセンサと大気センサの差をとり、相対圧センサとして出力する。

請求項（抜粋）：

静電容量を利用する半導体圧力センサにおいて、シリコンチップの同一平面に複数の圧力検知用静電容量と参照静電容量とを形成したことを特徴とする半導体圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 7/00 ,  G01L 19/04

FI (4件)：

G01L 9/12 ,  G01L 7/00 P ,  G01L 7/00 J ,  G01L 19/04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 真空センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-134333   出願人：株式会社リケン, 江刺正喜