特許

J-GLOBAL ID：200903085261538629

熱伝導率計

発明者： 武藤 裕行 ,  梶尾 恭弘 ,  上運天 昭司 ,  長田 光彦
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008970
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201327
出願日： 1995年01月24日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 高速応答、長寿命、かつ高精度とする。【構成】 シリコン台座(基台)30上に形成されたダイヤフラム部に測温抵抗体(TCD)21を作り込む。ダイヤフラム部に設けられたTCD21に近接して、基台30上に温度センサ22を設ける。TCD21へ流れる電流iを制御して、TCD1の発熱温度TRhを一定値(140°C)に保つ。温度センサ22の計測温度に基づき、恒温槽温度制御回路29により、恒温槽ヒータ28への電力を制御する。これによって、恒温槽27内の温度を調整し、基台30の周囲温度TRR2 を一定値(60°C)に保つ。周囲温度TRR2 が一定値に保たれかつ発熱温度TRhが一定値に保たれた状態でのTCD21の両端の間の電圧である出力電圧vに基づき、TCD21に給送される試料ガスの熱伝導率を求める。

請求項（抜粋）：

基台上に形成されたダイヤフラム部と、このダイヤフラム部に設けられた発熱手段と、この発熱手段に近接して前記基台上に設けられた周囲温度計測手段と、この周囲温度計測手段により計測される周囲温度を一定値に保つ第1の制御手段と、前記発熱手段へのエネルギーの供給量を制御しその発熱温度を一定値に保つ第2の制御手段と、前記第1の制御手段により前記周囲温度が一定値に保たれかつ前記第2の制御手段により前記発熱温度が一定値に保たれた状態での前記発熱手段へのエネルギーの供給量に基づき前記発熱手段に給送される試料ガスの熱伝導率を求める熱伝導率求出手段とを備えたことを特徴とする熱伝導率計。

IPC (2件)：

G01N 27/18 ,  G01N 25/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 熱伝導率検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-232461   出願人：山武ハネウエル株式会社
• 特表平1-501096
  
• 特開平3-094150