特許
J-GLOBAL ID：200903085269865343

ガス監視装置

発明者：
赤丸 久光

赤丸 久光 について

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木下 太生

木下 太生 について

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岡田 昌之

岡田 昌之 について

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喜多 純一

喜多 純一 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-298976
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116289
出願日： 2006年11月02日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：
【課題】クリーンルーム内等の空気中のケミカル汚染物質等を連続的に監視可能とする。【解決手段】n種の標準ガスをm個のセンサ素子で測定した結果に基づき、そのm個のセンサによる検出出力により形成されるm次元空間内にn本の標準ガスベクトルを作成しておく(S1、S2)。所定の測定時間間隔毎に採取した試料ガスを測定した結果をm次元空間内に位置付け、その測定点と標準ガスベクトルとの関係から各標準ガスに対する類似性指標値を算出するとともに、類似性がある標準ガス相当の濃度を求める(S3〜S6)。この類似性指標値と濃度値とを直接表示することで(S7)、ユーザーに直感的に理解しやすい情報を提供する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
a)所定時間間隔又は所定のタイミング毎に監視対象の試料ガスを所定量採取する試料採取手段と、 b)互いに異なる応答特性を有するm(mは2以上の整数)個のガスセンサと、 c)前記m個のガスセンサによる検出出力で形成されるm次元空間において、既知のn種類(nは2以上の整数)の標準ガスについてそれぞれ濃度を変えて得られる測定結果に基づいてn本の標準ガスベクトルを作成し、これを表現するデータを記憶しておく標準データ取得手段と、 d)前記試料採取手段により採取された試料ガスに対する前記ガスセンサの検出出力に基づいて前記m次元空間内に位置付けられる測定ベクトルと前記標準データ取得手段により形成される標準ガスベクトルとが成す角度を求め、該角度に基づいて試料ガスの各標準ガスに対する類似性を示す指標値を算出する類似性指標値算出手段と、 e)少なくとも前記類似性を示す指標値に基づいて類似性が認められる標準ガスベクトルに対し、試料ガスの測定ベクトルの正射影をとって該正射影ベクトルの長さからその標準ガス成分に対するガス濃度を算出するガス濃度算出手段と、 を備えることを特徴とするガス監視装置。
IPC (3件)：
G01N 27/12 ,  G01N 1/00 ,  G01N 5/02
FI (3件)：
G01N27/12 A ,  G01N1/00 102D ,  G01N5/02 A
Fターム (11件)：
2G046AA04 ,  2G046AA10 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046CA02 ,  2G046DC01 ,  2G046FB02 ,  2G052AA03 ,  2G052AC13 ,  2G052AD02 ,  2G052AD42
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • におい測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-254975   出願人：株式会社島津製作所
  • におい測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-254649   出願人：株式会社島津製作所
審査官引用 (8件)
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