特許
J-GLOBAL ID：200903085290988862
薄膜の硬度または弾性率測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-146900
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326378
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】CVD法やPVD法などによって基材の表面に形成された炭素系硬質膜等の薄膜の硬度と弾性率を正確に測定することのできる薄膜の硬度及び弾性率測定方法を提供する。【解決手段】基材の表面に形成された薄膜に圧子を押込み、その押込み深さから前記薄膜の硬度と弾性率を測定するに際して、前記圧子の押込み深さを前記薄膜の膜厚に対して2〜50%の範囲内に規定して前記薄膜の硬度と弾性率を測定することを特徴とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材の表面に形成された薄膜に圧子を押込み、その押込み深さから前記薄膜の硬度もしくは弾性率を測定するに際して、前記圧子の押込み深さを前記薄膜の膜厚に対して2〜50%の範囲内とすることを特徴とする薄膜の硬度または弾性率測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2G061AA02
, 2G061AB01
, 2G061BA06
, 2G061BA20
, 2G061CA20
, 2G061DA16
, 2G061EA01
, 2G061EA02
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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