特許
J-GLOBAL ID：200903085296657078
クリーニングシ-ト、及びこれを用いたクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309340
公開番号（公開出願番号）：特開2003-115521
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、例えば各種の基板処理装置や微細加工時の露光マスク(レチクル)の搬送系などをクリーニングするシート、及びこれを用いたこれらのクリーニング方法を提供する。【解決手段】 多孔質を有する熱硬化性樹脂層からなるシート状物の片面に、熱可塑性樹脂からなる粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートである。
請求項（抜粋）：
多孔質を有する熱硬化性樹脂層がクリーニング層としてなるクリーニングシート。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B08B 1/00
, C09J 7/02
H01L 21/68 A
, B08B 1/00
, C09J 7/02 Z
3B116AA47
, 3B116AB54
, 3B116BA08
, 3B116BA22
, 4J004AA07
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AA15
, 4J004CA03
, 4J004CA06
, 4J004CC02
, 4J004CC03
, 4J004FA10
, 5F031CA04
, 5F031CA07
, 5F031FA02
, 5F031FA04
, 5F031NA13
, 5F031NA14
