特許
J-GLOBAL ID：200903085332847245

表面欠陥検査方法および装置

発明者：
長谷川 潤

長谷川 潤 について

, 
清水 敏

清水 敏 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112250
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304703
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 安定な検査処理を行う為、最適な2値化スライスレベルをできるだけ簡易に設定することが可能な欠陥検査方法および装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、表面に複数の微細な加工部が形成されたパターンを有する基材を撮影し、予め設定した2値化スライスレベルにより前記撮影した画像の2値化画像を求めて、当該2値化画像に基づいて前記加工部の面積、フィレ径、周長等の少なくとも1つを測定することにより前記パターン内の正常な前記加工部がつながったことによる欠陥の有無を判定する表面欠陥検査方法であって、前記予め設定した2値化スライスレベルの決定方法が、表面に複数の微細な加工部が形成されたパターンを有する所定の基材に基づいて求めた2値化スライスレベルの度数分布における標準偏差を基準として、2値化スライスレベルを決めることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
表面に複数の微細な加工部が形成されたパターンを有する基材を撮影し、予め設定した2値化スライスレベルにより前記撮影した画像の2値化画像を求めて、当該2値化画像に基づいて前記加工部の面積、フィレ径、周長等の少なくとも1つを測定することにより前記パターン内の正常な前記加工部がつながったことによる欠陥の有無を判定する表面欠陥検査方法であって、前記予め設定した2値化スライスレベルの決定方法が、表面に複数の微細な加工部が形成されたパターンを有する所定の基材に基づいて求めた2値化スライスレベルの度数分布における標準偏差を基準として、2値化スライスレベルを決めることを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H01J 9/42
FI (3件)：
G01N 21/88 J ,  G01B 11/30 G ,  H01J 9/42 A
Fターム (47件)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065FF42 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065MM03 ,  2F065MM22 ,  2F065NN17 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR05 ,  2F065RR08 ,  2F065SS07 ,  2F065TT03 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA00 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  5C012AA02 ,  5C012BE03
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特開昭62-237305
  • スジ検査方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043413   出願人：大日本印刷株式会社
  • 特開平3-183147
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審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-237305
  • スジ検査方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043413   出願人：大日本印刷株式会社
  • 特開平3-183147
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