特許
J-GLOBAL ID:200903085337555870
カセット用基板支持部材および基板用カセット
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-309507
公開番号(公開出願番号):特開2004-146578
出願日: 2002年10月24日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】フラットディスプレイの大型化にともなう、基板用カセットの大型化においても、基板用カセットの質量の増大の抑制を可能とする、カセット用基板支持部材および基板用カセットを提供する。【解決手段】カセット用基板支持部材200は、長尺の棒状部材からなるリブ201と、このリブ201の一方端に設けられ、サイドサポートフレーム101aにリブ201を固定するための受け部材213と、リブ201の軸方向に沿って所定の間隔を隔ててリブ201に取付けられるリング状部材210,211,212とを備えている。リブ201の材料としては、低発塵性、絶縁性、強度性、軽量性の観点から、その軸方向に延びるように炭素繊維が配設された炭素繊維強化プラスチック材料(CFRP)が用いられている。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
基板を積層状態に収容する基板用カセットに用いられ、前記基板を所定の間隔で下方側から支持するため、前記基板用カセットのフレームから内部に張出すように設けられるカセット用基板支持部材であって、
長尺の棒状部材からなるリブと、
前記リブの一方端に設けられ、前記フレームに前記リブを固定するための受け部材と、
前記リブの軸方向に沿って所定の間隔を隔てて前記リブに取付けられる補助支持部材とを備え、
前記リブは、その軸方向に延びる炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料を有する、カセット用基板支持部材。
IPC (3件):
H01L21/68
, B65D25/10
, B65D85/86
FI (3件):
H01L21/68 V
, B65D25/10
, B65D85/38 R
Fターム (33件):
3E062AA01
, 3E062AB07
, 3E062BA20
, 3E062BB06
, 3E062BB09
, 3E062FA02
, 3E062FB03
, 3E062FC07
, 3E096AA06
, 3E096BA20
, 3E096BB05
, 3E096CA08
, 3E096CB03
, 3E096DA03
, 3E096DA11
, 3E096DA23
, 3E096DB06
, 3E096EA02Y
, 3E096EA11Y
, 3E096FA01
, 3E096FA03
, 3E096FA07
, 3E096FA14
, 3E096FA20
, 3E096GA11
, 3E096GA13
, 3E096GA14
, 5F031CA05
, 5F031DA01
, 5F031EA03
, 5F031PA09
, 5F031PA18
, 5F031PA26
引用特許:
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