光ディスク用原盤研磨装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154076
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022643
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】装置の小型化、及びユーティリティーの負担軽減並びにインラインによる搬送系の接続の容易化を図る。【構成】ガラス原盤30を固定し、このガラス原盤30を回転させるターンテーブル21と、このターンテーブル21上に固定されたガラス原盤30の研磨面上に所定の押圧力を持って押し付けられるポリッシングパッド11と、ガラス原盤30の研磨面上に研磨液を供給するスラリーノズル14とを備える。そして、ターンテーブル21の回転により回転せしめられるガラス原盤30にポリッシングパッド11を押し付け、研磨液を供給しながら研磨する。

請求項（抜粋）：

光ディスク用原盤を固定し、この光ディスク用原盤を回転させるターンテーブルと、このターンテーブル上に固定された光ディスク用原盤の研磨面上に所定の押圧力を持って押し付けられる研磨パッドと、光ディスク用原盤の研磨面上に研磨液を供給する研磨液供給部とを備え、上記ターンテーブルの回転により回転せしめられる光ディスク用原盤に研磨パッドを押し付け、研磨液を供給しながら研磨するようにしたことを特徴とする光ディスク用原盤研磨装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , B24B 37/04

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭58-196962
特開昭59-182057
特公平3-062128

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