特許

J-GLOBAL ID：200903085341621144

振動ジャイロ

発明者： 杉本 正一 ,  森屋 和文 ,  持田 洋一 ,  長谷川 友保 ,  厚地 健一 ,  田中 克彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-211790
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054242
出願日： 1994年08月12日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 製造が容易で、回転角速度等の大きさを精度よく検出できる振動ジャイロ1を提供する。【構成】 振動子4の励振駆動部6と、容量検出部10A,10Bを設け、振動子4を折曲形成した梁3で支持し、振動子4と同一平面の直交2方向に励振振動と検出振動を行う。容量検出部10A,10Bにはそれぞれサーボ機構14A,14Bを接続し、検出振動が起こると、サーボ機構14A,14Bが検出振動を打ち消す方向に容量検出部10A,10Bに静電力を印加する。検出部15A,15Bは、サーボ機構14A,14Bが容量検出部10A,10Bに印加するフィードバック出力を検出振動の容量変化として検出する。

請求項（抜粋）：

梁によって支えられた振動子を有し、この振動子を該振動子と同一平面の一方向に静電力によって励振駆動する励振駆動部と、振動子の励振振動方向と直交する方向を回転軸とし、この回転軸方向と前記励振振動方向に共に直交する方向の振動子のコリオリ力による検出振動を容量変化によって検出する容量検出部とを備えた振動ジャイロにおいて、前記振動子を支えている梁を折曲形成して振動子と同一平面の直交2方向に前記励振振動と検出振動を生じさせる構成とした振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-274530   出願人：日本電装株式会社
• 特開平3-269316