特許

J-GLOBAL ID：200903085382562411

真空中冷却用セラミック部品

発明者： 萩 春二
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-050893
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243877
出願日： 2004年02月26日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】真空装置内で使用され、シール面に複数の冷却溝を設ける大型セラミック部品において、冷却溝の周囲に接着剤流路を設け、接着剤で確実にシールして真空装置内にコンタミなどの汚染を発生させないようにする。【解決手段】外周部に接着剤の流れる溝を持つ上下板で接着して張り合わせ、この接着剤流路に向かってエアー抜き穴を有している構造とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

冷却水の通る冷却溝と、該冷却溝の外側に形成されたシール面と、該シール面の外側に形成された接着剤流路とを接合面に有するセラミック部材を、他のセラミック部材と上記接合面で組み合わせて、上記接着剤流路に接着剤を充填して両者を一体接合したことを特徴とする真空中冷却用セラミック部品。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

FI (4件)：

H01L21/30 503A ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 N ,  H01L21/30 541L

Fターム (20件)：

2H097BA02 ,  2H097DC10 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA38 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA26 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC18 ,  5F046GA11 ,  5F046GA12 ,  5F046GA14 ,  5F056CB21 ,  5F056EA14 ,  5F056EA16

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェハ保持用真空チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-182016   出願人：住友金属工業株式会社