特許

J-GLOBAL ID：200903085430891570

導電性ボールの移載装置および移載方法

発明者： 中里 真一 ,  境 忠彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-265761
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111767
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 ピックアップミスにより吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載することができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 ボール供給部10から導電性ボール7を真空吸着してピックアップした吸着ヘッド31がワークの位置決めテーブル2に移動する経路に、余分に付着した導電性ボール7を除去する除去部40を設ける。除去部40には吸着ヘッド31の下面に対して空気を噴出するエアブローノズル42を備え、空気を噴出するエアブローノズル42に対して吸着ヘッド31を相対的に移動させる。これにより、空気の噴流の作用により吸着ヘッド7の下面に不安定な状態で付着している余分な導電性ボールのみを除去することができる。

請求項（抜粋）：

下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドが前記吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップした状態で前記吸着ヘッドの下面の吸着孔以外に余分に付着した導電性ボールをエアブローによって除去する除去部とを備えたことを特徴とする導電性ボールの移載装置。

IPC (5件)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 ,  B23P 21/00 305 ,  B23Q 3/08 ,  H01L 23/12

FI (6件)：

H01L 21/60 311 S ,  B23P 21/00 305 B ,  B23Q 3/08 A ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z ,  H01L 23/12 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

• バンプ形成方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-034025   出願人：松下電器産業株式会社
• 導電性ボールの搭載装置および搭載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-030299   出願人：松下電器産業株式会社