特許
J-GLOBAL ID：200903085441507250
プリント基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-279787
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122415
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 プリント基板の検査において、プローブでは接触困難な部分の測定を容易にし、隣接部の信号による影響を防ぎ、正確な信号を測定する。【構成】 上面に透明導電層5が設けられている電気光学物体4を被測定配線2上に接触または近接させ、レーザ光源6から複数配線を同時に照射可能なビーム径の入射光13を電気光学物体4およびソルダーレジスト3に通過させ、被測定配線2で反射させる。電気光学効果によって偏光状態の変化した各々の被測定配線の反射光14を検光子8によって光強度に変換し、各々の反射光を検出器アレイ9で電気信号に変換し、各被測定配線の信号を測定する。
請求項（抜粋）：
上面に透明導電層が設けられている電気光学物体からなるセンサ素子と、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光が前記センサ素子を通過し、更に、プリント基板上の被測定配線によって反射して再び前記センサ素子を通過するようにレーザ光を入射させる光学手段と、前記透明導電層と前記被測定配線間に生じる電位差により影響を受けた電気光学物体中を通過し、反射して再び通過することにより位相変調を受けた被変調レーザ光の位相差を検出する検出手段とを備えることを特徴とするプリント基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 L
, G01R 15/07 C
